• Высокая точность ± 1,0% с фиксированной точкой
  Линейность контроллера потока массы компенсируется полиномиальной аппроксимативной кривой и обеспечивает высокую точность в диапазоне управления потоком. Для повышения точности фактического газа данные калибровки различных технологических газов измеряются стандартной системой измерения газа компании Horiba STEC.
• Высокоскоростная реакция
  Сборка « переменной PID - системы» обеспечивает 1 - секундный ответ между любыми двумя точками настройки. Изменяемый PID изменяется в зависимости от точки потока. Оптимизация коэффициента PID при изменении расхода и газа в полном диапазоне.
• Многогазовые / многомерные решения
  Программное обеспечение позволяет быстро и легко изменять спецификации. Важной особенностью является то, что изменения могут быть сделаны без удаления контроллера потока массы с панели управления газом или трубопровода. Сокращение количества требуемых резервных контроллеров потока качества, экономия времени и затрат.

Контроллер потока качества SEC - Z500X предназначен для различных применений, а также для производства полупроводников.