Атомно - силовой микроскоп Park Systems XE - 15

Описание прибора:

Пак XE - 15 обладает полной совместимостью образцов. Его разнообразный дизайн стенда для образцов обеспечивает удобную и надежную тестовую среду для образцов разных размеров, форм и количества. Расстегнутый замкнутый XY - сканер устраняет ошибку эффекта изгиба и обеспечивает линейность. Реальный режим бесконтактного сканирования расширяет подходящий тип образца, значительно увеличивая срок службы зонда и снижая стоимость использования.

Технические параметры атомно - силового микроскопа Park Systems XE - 15:

Сканер

Сканер XY

одномодульный сканер с замкнутым контуром гибкого наведения

Диапазон сканирования 100 мкм * 100 мкм (необязательно 50 мкм * 50 мкм)

Плоское смещение: < 2 нм (40 мкм * 40 мкм сканирования)

Сканер Z

мощный сканер с гибким наведением

Диапазон сканирования 12 мкм (необязательно 25 мкм)

резонансная частота: > 5 кГц

Шум изображения поверхности: 0,03 нм

Стол для образцов

Тип стенда для отбора проб: 16 - битный стенд для отбора проб / 150 мм вакуумный адсорбционный стенд диаметром (необязательный вакуумный адсорбционный стенд диаметром 200 мм)

Размер образца: 150 мм * 150 мм * 20 мм

Вес образца: Zui большой 500g

Диапазон перемещения стенда образца: 150 мм * 150 мм (необязательно 200 мм * 200 мм)

Основные особенности:

Инновационный многоточечный дизайн стенда для образцов, обеспечивающий эффективность работы

За одну операцию Zui может сканировать до 16 образцов

• Образцы легко размещаются, сканируются быстро

• Значительное повышение точности и повторяемости данных

II. Поддержка сверхбольших образцов для удовлетворения потребностей отрасли в развитии

Поддержка 200 - мм кристаллического круга Zui для удовлетворения текущих и будущих потребностей пользователей

• Специальные конструкции для удовлетворения реальных потребностей пользователей, связанных с полупроводниками

Богатый выбор функциональных моделей

• Улучшенная поддержка различных функций SPM

Поддержка различных моделей измерения

• Поддержка различных дополнительных аксессуаров, расширенная производительность превосходна