Параметры продукта онлайновой вакуумной плазменной очистительной машины:
|
Система питания |
Мощность |
F13.56 МГц 0 - 600 Вт (радиочастотный источник питания) |
|
Вакуумная система |
Вакуумный трубопровод |
Трубопроводы из нержавеющей стали, а также высокопрочные вакуумные гофрированные трубы |
|
Материалы |
Алюминиевый сплав |
|
|
Герметичность |
Унитарное формование |
|
|
Объем полости |
6L |
|
|
Применяемые размеры продукции |
180 - 280mmX25 - 90mm (длина х ширина) |
|
|
Применяемый размер коробки |
180 - 290mmX25 * 93X250mm (длина x ширина x высота) |
|
|
Количество каналов |
Стандарт 4 (можно настроить) |
|
|
Размер электродной пластины |
340x500mm |
|
|
Время возбуждения плазмы |
Время очистки с плазменным возбуждением |
5Sec |
|
Производство |
UPH |
480 (время змеиной кожи 10S, время четырех каналов) |
|
Мобильность |
Угол капли |
Испытание угла капли < 12° |
|
Диапазон потока |
0-300SCCM |
|
|
Технологический газ |
Стандартный 2 - й путь, настраиваемый аргон: 3bars 1L / min Азот: 3bars 1L / min |
|
|
Другие параметры |
Электричество |
AC 380V 5.5KW |
|
Размер |
1600mmX1200x1600 |
Характеристики изделий из вакуумной плазмы в режиме онлайн:
1.Ширина орбиты может быть отрегулирована с возможностью одновременной очистки четырех продуктов различной ширины;
2.пластинчатая очистка, эффект очистки более очевиден;
3.Односторонняя верхняя и наружная структура, без замены коробки, очищенный продукт автоматически возвращается в оригинальную коробку, чтобы устранить смешанную партию;
4.Двойная очистка лотков, одна очистка в то же время другой резервуар для повышения эффективности производства;
5.Замена продукта одним нажатием клавиши, автоматическая загрузка всех параметров и настроек устройства, без ручной настройки;
6、Ручная очистка и автоматическая очистка работают одним нажатием клавиши, операция более проста;
7.Безопасная многократная конструкция продукта, чтобы гарантировать, что продукт не будет деформирован и поврежден;
8.Четыре канала независимо проверяются в каждом месте, чтобы точно определить, где проблема;
9.Безопасность оборудования Множественный дизайн для обеспечения личной безопасности;
10.Модульный дизайн, конфигурация международных брендов, чтобы обеспечить стабильную работу оборудования.
Онлайновый вакуум.Плазменная очистительная машина имеет преимущества низкой стоимости, простоты использования, низкой стоимости обслуживания и технического обслуживания, защиты окружающей среды и может быть применена к обработке поверхности перед процессом сцепления чипа, соединения выводов и процесса упаковки кристаллов. По сравнению с традиционными независимыми плазменными очистителями, онлайн - пластиныВакуумная плазменная очистительная машина имеет преимущества высокой степени автоматизации, высокой эффективности очистки, высокой чистоты оборудования, широкого диапазона адаптации и подходит для крупномасштабного полностью автоматизированного производства.
