Введение:
① Вакуум: 2.0x10 - 8Па;
Материальное качество: 316L нержавеющая сталь;
3) Фланец интерфейса: все фланцы CF - лезвия;
iv) обработка поверхности: электролитическая полировка путем обезжиривания;
(5) Размер полости: настроен в соответствии с потребностями пользователя.
MBE Молекулярно - пучковое экстенсивное устройство Введение:
Расширение молекулярного пучка (MBE) - это недавно разработанный метод экстенсивной пленки, а также особый процесс вакуумного покрытия. Экстраполяция - это новая технология подготовки монокристаллической пленки, которая представляет собой метод многослойного роста пленки вдоль кристаллической оси материала подложки в соответствующих условиях.
Преимущество этой технологии заключается в том, что используемая температура подложки низкая, скорость роста мембраны медленная, интенсивность потока пучка легко поддается точному контролю, а концентрация компонентов мембраны и легирования может быть быстро скорректирована с изменением источника. С помощью этого метода удалось изготовить монокристаллические пленки, тонкие до десятков атомных слоев, а также сверхтонкие слои квантовой микроструктуры, образованные чередующимися слоями из различных компонентов и легированных пленок.
