Цель технического обслуживания приборов ICP:
1) Своевременное обнаружение неисправности прибора;
2) расследовать скрытые опасности прибора, своевременно обнаружить, предложить меры предосторожности;
3) повышение чувствительности прибора за счет технического обслуживания прибора, продление срока службы прибора;
4) повышение стабильности прибора, обеспечение точности данных испытаний;
Содержание технического обслуживания приборов ICP:
1) Очистить все платы, вентиляторы и поверхности приборов от пыли
2) Очистка распылителя, камеры распыления, конуса освещения и трубки горелки
3) Замена охлаждающей циркуляционной воды, очистка трубопроводов
4) Проверка герметичности соединения вакуумной трубки, выключателя электромагнитного клапана
5) Проверка характеристик вакуумных насосов, замена насосного масла, уплотнительное кольцо, молекулярное сито
6) Проверьте отсутствие утечки воздуха между баллоном и ICP, проверка соответствия цепи
7) Проверьте прибор газ, газоусилитель датчик, очистка
8) Охрана от пыли высокочастотных генераторов РЧ, обслуживание вакуумной камеры
9) Ответы на сложные вопросы пользователей