гелиево - ионный хроматограф для анализа тетрахлорсиланаДля обнаружения следовых примесей в газах, используемых в электронной промышленности, используется небольшая концентрация обнаружения до 5 ppb. Инструмент оснащен высокочувствительным детектором ионизации гелия, с использованием технологии центральной резки Huari, входной клапан имеет защитный газопровод продувки; Вся машина спроектирована с использованием многоцилиндровой коробки и оснащена автоматической системой коррекции давления входящего образца для обеспечения количества проб различных образцов нижнего газа. Продукция была удостоена шанхайского проекта преобразования высокотехнологичных достижений класса А.