Вакуумные клапаны HVA, вакуумные вставные клапаны серии 21200:
Вакуумные клапаны HVA, вакуумные вставные клапаны серии 21200:
Линейный привод позволяет использовать сварные сильфонные трубы для уплотнения привода.
Уникальная конструкция цилиндра минимизирует удар и вибрацию.
Вакуумные задвижки HVA серии 21200 не имеют механических замков в вакуумной полости и поэтому особенно подходят для производства полупроводников и других чувствительных обрабатывающих отраслей, требующих низкой вибрации.
Все движущиеся соединения имеют твердые оси, которые эффективно уменьшают образование частиц и облегчают привод.
Вакуумные задвижки корпуса клапана из нержавеющей стали HVA обеспечивают наименьшую внутреннюю поверхность в отрасли вакуумных клапанов.
Корпус клапана и все внутренние детали были спаяны в вакуумной печи 1100°C, 1x10E - 6 Torr, обеспечивая максимальную целостность клапана.
7. Что касается технического обслуживания, то часть кронштейна может быть демонтирована без удаления вакуумного клапана из всей системы.
8. Привод клапана вручную, пневматически необязательно.
Стандартный или индивидуальный фланец соответствует различным приложениям.
10. Вакуумные клапаны стандартного цикла HVA серии 21200 могут быть установлены в любом месте.
11. Электромагнитный клапан управляется с ручным гиперуправлением.
