Датчик давления серии сапфиров состоит из элемента сапфирового монокристаллического изолятора, жесткость не имеет запаздывания, усталости и ползучести; Сапфир обладает очень хорошими эластичными и изоляционными свойствами (в пределах 1000 ° C), не чувствителен к изменениям температуры и обладает хорошими рабочими свойствами даже в условиях высоких температур. Сапфир обладает высокой стойкостью к радиации; Кремниево - сапфировый датчик использует кремниевую эпитаксиальную технологию для выращивания слоя кремниевой пленки на диафрагме сапфира, а затем использует фотолитографию для создания кремниевого моста, используя процесс тяжелого легирования для получения деформационного сопротивления. Силиконовые мосты, выращенные на сапфире, не имеют p - N узлов и, следовательно, не чувствительны к излучению, в то время как верхний предел температуры перехода не влияет на производство продуктов для измерения более высокой температуры. Применяемый процесс тяжелого легирования может уменьшить 2 - кратное загрязнение дорог кремниевого моста при высоких температурах. Таким образом, сапфир может быть в различных сложных условиях, условиях окружающей среды. Датчик имеет двухмембранную структуру, состоящую из диафрагмы: двухмембранная конструкция состоит из титанового сплава, измерительной мембраны и приемной мембраны. Приемная мембрана представляет собой сапфировую мембрану, сваренную при высокой температуре на диафрагме из титанового сплава, которая соединяется металлическим жестким шатуном между измерительной мембраной и приемной мембраной и соединяется сваркой или лазерной сваркой. Измеренное давление передается на приемную мембрану. Под действием давления титановый сплав получает мембрану для деформации, которая после того, как она воспринимается кремниево - сапфировым чувствительным элементом, выход моста изменяется, и амплитуда изменения пропорциональна измеренному давлению. Схема моста преобразует сигнал дисбаланса моста в выход сигнала напряжения.

• Широкий диапазон измерений температуры

Температурная погрешность минимальна

· Высокая точность, высокая стабильность

· Легкий вес, высокая рентабельность