Алгоритм управления обеспечивает стабильное управление шунтированием, контролируя соотношение трафика и используя технологию оптимизации управления HORIBA STEC для управления верхним давлением FS - 3000. Кроме того, даже если отношение шунта изменяется, алгоритм управления может обеспечить высокоскоростную реакцию на шунт.

• Улучшение масштабируемости, эксплуатационных характеристик. FS - 3000 может разделить до 15 каналов с помощью высокоскоростной обработки сигналов. В случае неисправности MFC достаточно заменить неисправность с устройства.

• Требуемая спецификация FS - 3000 для гибкого реагирования поддерживает различные газы, включая смесь. Кроме того, FS - 3000 поддерживает пользовательские интерфейсы, такие как RS - 485 и DeviceNet.