Металлофазный микроскоп LeicaDM12000MИспользуя оптический принцип, измеренный образец помещается на наблюдательную платформу в микроскопе, а изображение образца увеличивается в окуляр микроскопа путем отражения или пропускания света. В соответствии с характеристиками рассеяния и поглощения света образцом, феномен изображения образца при изображении изменяется с изменением параметров. На основе этого изменения наблюдатель может определить микроструктуру и структуру образца.

Особенности золотофазного микроскопа DM12000M Leica:

Во - первых, новая оптическая конструкция, которая обеспечивает быструю первоначальную проверку макроскопического режима и функцию наклонного ультрафиолетового пути (OUV, режим наклонного ультрафиолетового наблюдения), не только улучшает разрешение, но и повышает производительность проверки 12 - дюймовых (300 мм) кремниевых пластин. Новая технология светодиодного освещения интегрирована и интегрирована в микроскоп, низкое тепловое излучение и интегрированная технология внутри фюзеляжа обеспечивают идеальное состояние потока воздуха за пределами фюзеляжа.

Во - вторых, золотофазный микроскоп DM12000M Leica, сокращающий время проверки, повышает эффективность проверки аксессуаров автоматической фокусировки для проверки пропускаемого освещения, которые могут быть дополнены всеми методами наблюдения за отраженным светом, включая даже темное поле зрения и дифференциальную интерферометрическую контрастность. Быстрая и точная автоматическая фокусировка, и даже при преобразовании режима наблюдения можно точно найти фокусную поверхность в реальном времени.

В - третьих, два типа осветительных устройств являются факультативными, универсальными и с высокой численной апертурой. Обеспечить подходящее освещение для проверки панелей FPD, MASK и может быть оснащен смещенными зеркалами для достижения проекционного света простого поляризованного наблюдения. Высокий контраст, более высокое разрешение, более высокое увеличение для проверки флуоресцентного режима наблюдения, используемого для проверки остатков фоторезиста, флуоресцентный спектроскопический модуль УФ - оптическая система может обеспечить более высокий контраст и разрешение с разрешением до 0,12 мкм.

В - четвертых, имеются различные варианты флуоресценции, такие как U.B.G, для остатков фотогеля и проверки OLED. Удобный интерфейс связи для управления и параметров умножения микроскопа и диафрагмы с апертурой получает RS232C для кристаллической окружности и устройства, и даже сварные ножки для внутреннего контроля в ближней инфракрасной области спектра Наблюдения Стандарт включает в себя интерфейс RS232C, что делает возможным управление электрической частью микроскопа с помощью ПК и позволяет нескольким микроскопам на технологической линии работать в одном и том же заданном состоянии.

В - пятых, включая специальные инфракрасные объективы и другие аксессуары для коррекции аберрации света от видимого до ближнего инфракрасного диапазона, для глубоких или внутренних проверок IC, что позволяет полностью проверить WAFER BUMP автоматические измерения ширины линии CD с помощью субпиксельной технологии для достижения высокой точности измерения CD.

В - шестых, энергосберегающая конструкция с низким энергопотреблением значительно продлевает срок службы и соответствует концепции зеленой окружающей среды. Дизайн управления одним нажатием клавиши позволяет пользователям легко выполнять преобразование коэффициента умножения и связанные с этим эффекты освещения и контрастности.