Миниатюрный датчик давления CYG503 с номинальным габаритным внешним диаметром 3 мм предназначен для аэродинамических исследований и испытаний, требующих установки измерений динамического распределения давления с небольшим размером, без возмущения поля потока и хорошей динамической реакцией. Применяется для определения аэродинамических характеристик, таких как искажение давления в воздухозаборнике двигателя, помпаж и т. Д.
Чувствительные к давлению элементы CYG503 спроектированы и изготовлены с использованием передовых технологий MEMS (Miro Electronic Machinical Systems). Трехмерная интеграция, двухсторонняя обработка кремниевых чувствительных элементов с сопротивлением давлению с отличной линейной точностью, ионной инжекцией, точной фотолитографией, изготовленной из высокой согласованности деформационного моста Уистона, делает его очень маленьким температурным дрейфом, микромеханической обработкой тела, точной анизотропной коррозией, образованной силиконовой тонкой мембранной чувствительной структурой, что делает его очень чувствительным к давлению и радиальным размером до 1,5 мм. Усовершенствованные миниатюрные кристаллы, чувствительные к давлению, используют технологию упаковки без напряжений, герметичную упаковку в специальных миниатюрных монтажных постах и капиллярах из нержавеющей стали. Резонатор опорного давления датчика давления является запечатанной вакуумной полостью на обратной стороне чипа, а опорная полость давления датчика манометрического типа выводится с обратной стороны через более тонкий капилляр из нержавеющей стали. Кроме того, для того, чтобы пользователи могли получать стабильные ссылки на давление, они используют тонкие нейлоновые трубки, чтобы привести их к стабилизации давления.
Миниатюрный датчик давления с абсолютным давлением CYG503A имеет форму зонда, стандартный внешний диаметр F 3.5 мм, длина 18 мм, а специальная короткая колонна CYG503AS сокращает длину до 12 мм. Дополнительный диапазон составляет 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000 кПа абсолютного давления.
Миниатюрный датчик давления манометрического типа CYG503G имеет форму зонда, стандартный внешний диаметр F 3.5 мм, длина 18 мм, длина капилляра с противодавлением 12 мм. Дополнительный диапазон составляет 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500 кПа поверхностного давления.
Патент на проектирование и производство CYG503 получил государственную лицензию на изобретение с патентным номером:.3.
Миниатюрный болтовой датчик давления CYG504 предназначен для удобства использования некоторыми пользователями требуемых производных сортов CYG503, как при абсолютном, так и при манометрическом давлении. Его внешний вид показан на прилагаемой диаграмме.
CYG503、 Поскольку датчик типа 504 имеет фронтальное давление с чувствительными элементами, он применяется только к сухим газам, среда которых не коррозионна и не проводит электричество. Но он имеет довольно широкую рабочую зону температуры и очень хорошую динамическую частоту. Можно использовать динамические частоты от нуля до десятков тысяч герц. Дополнительная защита поверхности покрытием может улучшить пригодность среды, но за счет частотных характеристик.
1. Параметры показателей эффективности
| Показатель / класс | Нелинейная точность ±% FS |
гистерезисное повторение %FS |
нулевой температурный коэффициент х 10-4ПС / °С |
температурный коэффициент чувствительности х 10-4ПС / °С |
дрейф при нулевом положении <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
Полный выход: минимум 30 мв Типовое значение 80 мв Максимальное значение 130 мв
Сопротивление ввода - вывода: минимум 3 кОмега типичное 5 кОмега максимальное 7 кОмега
4, входной рабочий ток: 1.5mA (тип манометрического давления) 1mA (тип абсолютного давления) (постоянный источник)
5. Диапазон рабочих температур: - 55°C - + 120°C
6, Компенсационный температурный диапазон: - 10°C - + 80°C
Мощность перегрузки: 200% от номинального диапазона
8 Чувствительность к ускорению: < 0001% FS / g
9. График размеров:

