Ультраминиатюрный датчик давления CYG502 с номинальным диаметром 2 мм предназначен для использования в гидродинамических экспериментах, требующих меньших размеров установки. В настоящее время наша компания выпускает самый маленький датчик давления в своей продукции.

Чувствительные к давлению элементы CYG502 спроектированы и изготовлены с использованием передовых технологий MEMS (Miro Electronic Machinical Systems). Трехмерная интеграция, двухсторонняя обработка кремниевых чувствительных к давлению элементов с отличной линейной точностью. Высокая согласованность деформационного моста Уистона, созданного методом ионной инъекции и тонкой литографии, позволяет ему иметь небольшой температурный дрейф. Используя технологию прямого соединения кремниевого кремния, конструкция инвертированного V - образного желоба, таким образом, оптимизирует размер тонкой пленки чипа, уменьшает размер всего чипа до размера 1 × 1 мм, а выходная чувствительность все еще может достигать диапазона 100 кПа, что делает ключевой прорыв в реализации ультраминиатюрного датчика.

Смена кремниево - стеклянной связи в традиционной конструкции на кремниево - кремниевую связь улучшает эффект теплового соответствия и уменьшает нулевую нестабильность, вызванную напряжением.

В настоящее время на рынке представлены сорта с моделью измерения абсолютного давления, манометрический тип находится в стадии разработки.

Ультраминиатюрный датчик давления с абсолютным давлением CYG502A имеет форму зонда, стандартный внешний диаметр F 2.15 мм, длина 18 мм, факультативный диапазон измерения датчика 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000 кПа абсолютное давление.

Датчик давления CYG502A имеет фронтальное давление чувствительного элемента. Поэтому он применяется только к сухим газам, среда которых не коррозионна и не проводит электричество. Он имеет довольно широкую рабочую зону температуры, до - 55 ° C до + 120 ° C, но также имеет очень отличные высокочастотные динамические характеристики, его минимальный диапазон чувствительных элементов с присущей частотой > 200 кГц, время подъема до субмикросекунд.

1. Параметры показателей эффективности

Полный выход: минимум 30 мв Типовое значение 80 мв Максимальное значение 130 мв

Сопротивление ввода - вывода: минимум 3 кОмега типичное 5 кОмега максимальное 7 кОмега

4, входной рабочий ток: 1.5mA (тип манометрического давления) 1mA (тип абсолютного давления) (постоянный источник)

5. Диапазон рабочих температур: - 55°C - + 120°C

6, Компенсационный температурный диапазон: - 10°C - + 80°C

Мощность перегрузки: 200% от номинального диапазона

8 Чувствительность к ускорению: < 0001% FS / g

График размеров: CYG502A