8 - дюймовая система проверки кристаллов Olympus

Широкая адаптация, гибкое сочетание, 8 - дюймовая система проверки кристаллической окружности Olympus имеет высокую практичность и надежность.

• 8 - дюймовая система проверки кристаллов Olympus передает кремниевые пластины всех размеров

Основываясь на размерах кремниевых пластин, система проверки кристаллической окружности серии AL120 имеет три базовые модели: одностороннюю 200 мм (AL120 - L8), 150 мм и 200 мм совместимость (AL120 - L86), одиночную 150 мм или менее (AL120 - L6). Каждый из них предназначен для передачи кремниевых пластин, которые были подвергнуты микроскопическому исследованию. Макроскопическая проверка спереди и сзади может применяться с различными размерами кремниевых пластин.

8 - дюймовая система проверки кристаллов Olympus может передавать сверхтонкие кремниевые пластины, то есть тонкие до 90um

Чтобы справиться с более сложными сверхтонкими кремниевыми пластинами, система проверки кристаллов Olympus специально спроектирована для передачи рук, которые могут справляться с 25 упакованными 200 - миллиметровыми коробками и тонкими 90 - миллиметровыми кремниевыми пластинами, а также выполнять безопасную передачу и микроскопическое обследование. На панели можно предустанавливать информацию о кремниевых пластинах до 10 различных толщин.

• Прецизионные возможности для повышения функциональности макроскопических проверок

Новая машина с функцией макроскопической проверки (тип LMB) имеет автоматическое вращение на 360 градусов для завершения каждой макроскопической проверки кремниевых пластин. Эта конструкция позволяет легко обнаруживать дефекты и частицы на положительной и отрицательной сторонах кремниевых пластин. Кроме того, макроскопическую проверку можно провести, наклонив кремниевую пластину на 30 градусов с помощью шатуна.

• Дисплей LCD обеспечивает точность и удобство работы

Дисплей LCD дает оператору более интуитивно понятные визуальные ощущения, позволяя системе проверки кристаллов Olympus проверять элементы и порядок, а также параметры, необходимые для установки и отладки. Результаты проверки, включая макро - и микроскопические дефектные знаки, вводимые оператором, могут отображаться на LCD - дисплее, чтобы облегчить обзор оператора.

• Точная надежность

Для безопасности кремниевых пластин система проверки кристаллов серии AL120 использует два новых метода обнаружения кремниевых пластин: толщину кремниевых пластин и положение в коробке. Перед передачей сканируйте положение кремниевых пластин в коробке. Функция автоматической блокировки выбранного грузового стола повышает безопасность передачи кремниевых пластин на вакуумный грузовой стол.

• Мощный и надежный микроскоп

Полупроводниковый контрольный микроскоп Olympus MX61 позволяет получать изображения с высоким разрешением и высоким разрешением с помощью различных методов наблюдения: яркого, темного, дифференциального интерферометрического, инфракрасного и глубокого ультрафиолетового. Оборудованный ротором электрического объектива, с микроскопическим хостом с апертурой луча имеет функцию связи, каждый раз, когда объектив переключается, апертура луча также автоматически преобразуется.

Соответствие стандартам SEMI S2 / S8 и RoHS

Система контроля кристаллической окружности серии AL120 предназначена не только для обеспечения безопасности передаваемых кремниевых пластин, но и для обеспечения безопасности операторов и полностью соответствует стандартам S2 и S8 SEMI, а также стандартам Rohs.

Технические характеристики 8 - дюймовой системы проверки кристаллов Olympus