Основные характеристики 12 - дюймовой системы проверки кристаллов Olympus:
• Надежная, надежная и безопасная передача
12 - дюймовая система проверки кристаллической окружности Olympus продолжает прочность, надежность и безопасность моделей предыдущего поколения, способствуя безопасной и надежной передаче 300 - мм кристаллической окружности, а тонкие пластины и Warped могут безопасно перемещаться.
• Эргономический дизайн, удобный в эксплуатации
12 - дюймовая система проверки кристаллической окружности Olympus может свободно настраивать режим проверки, который учитывает работоспособность задней конструкции, уделяя особое внимание простоте работы оборудования. Соответствует двум моделям FOUP (Load Port) и FOSB.
Оптимизация местоположения макроскопического наблюдения 12 - дюймовой системы проверки кристаллической окружности Olympus и централизованное расположение операционных блоков повышают работоспособность оборудования.
Автоматическая 300 - мм система проверки кристаллов AL120 - 12 технические характеристики
Тип |
AL120-LMB12-LP |
AL120-LMB12-F |
Размер кристаллической окружности |
300 мм (SEMI M1.15 t = 775 мкм) Дополнительно: 200 мм |
|
Количество ячеек |
Одна коробка (как погрузка, так и разгрузка) |
|
Установить высоту коробки |
900 mm |
|
Порт загрузки |
Есть. |
Нет |
Порядок перемещения |
Макроскопия поверхности, макроскопия внутренней поверхности, микроскопия |
|
Режим проверки |
Полная проверка, выборочная проверка |
|
калибровка кристаллической окружности |
бесконтактное центральное кольцо |
|
способ обращения с кристаллическим кругом |
вакуумная адсорбционная механическая обработка |
|
Применимый микроскоп |
Полупроводниковый микроскоп MX61L |
|
Условия применения |
AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz , Вакуум - 67 - 80 кПа |
|
Грузоподъемная станция |
XY Ручной всасывающий стол с механизмом грубой / тонкой настройки XY и вращения на 360 градусов |
|
Вес (без микроскопа) |
Около 360 кг |
Около 270 кг |
